1700C CVD lò ống chân không 3 vùng với máy trộn khí MFC và đơn vị bơm phân tử

Tổng quan sản phẩm

PT D80/1500/17/3 là một lò ống chân không cao nhiệt độ cao, ba vùng CVD. ống nhôm OD80mm, chiều dài sưởi ấm 1500mm. Được trang bị máy bơm phân tử với mức chân không lên đến 10-5torr,3 kênh MFC pha trộn khí được điều khiển chính xác. 304SS nước làm mát vòm với van kim và thước đo, nhiều lối vào và lối ra không khí cho các loại khí khác nhau.Nó áp dụng một hệ thống kiểm soát nhiệt độ tự điều chỉnh dựa trên vi xử lý Yudian PID với độ chính xác kiểm soát nhiệt độ +/- °C, Các thanh MoSi2 được nung nóng, nhiệt độ tối đa có thể đạt đến 1700 ° C (1500 ° C dưới chân không cao).lớp phủ phim mỏng chân không, thí nghiệm CVD v.v.

Các đặc điểm chính

• Tmax 1700°C
• 3 vùng sưởi ấm chân không cao, lò ống CVD
• Cấu trúc thép kép, mất nhiệt tối thiểu
• Đơn vị bơm phân tử, mức chân không tối đa lên đến 10-5 torr
• Máy trộn khí được điều khiển MFC 3 kênh
• Phòng cách nhiệt bằng sợi với các yếu tố sưởi ấm MoSi2 để ổn định nhiệt độ tối đa và đồng nhất
• 304SS nước làm mát niêm phong miếng lót
• Bộ điều khiển PID kỹ thuật số với 30 phân đoạn có thể lập trình với độ chính xác +/-1°C
• Bộ nhiệt loại B
• ISO, CE

Các biện pháp an toàn

• Dựa trên một chiếc đồng hồ điện áp tích hợp và hai đồng hồ điện áp để dễ dàng giám sát và khắc phục sự cố.
• Bảo vệ quá nóng tắt lò nếu nhiệt độ nằm ngoài phạm vi chấp nhận được (xem hướng dẫn của bộ điều khiển) hoặc khi nhiệt cặp bị hỏng hoặc bị hỏng.
• Bảo vệ mất điện tiếp tục hoạt động lò ngay sau khi điểm thất bại khi điện được khôi phục.
• Kiểm soát PID tự điều chỉnh dựa trên vi xử lý cung cấp quy trình nhiệt tối ưu với quá mức tối thiểu

Chi tiết sản phẩm

1700 °C CVD 3 Khu vực lò ống chân không với máy trộn khí MFC và thiết bị làm mát bằng nước

• PT D80/1500/17 chủ yếu bao gồm bảy bộ phận: thân lò, ống lò, phụ kiện niêm phong sườn, hệ thống cung cấp khí, hệ thống làm mát nước,Hệ thống bơm chân không và hệ thống điều khiển nhiệt độ
• Vỏ thép bên ngoài lò được xử lý bằng cách dẻo dai và phosphating, lớp phủ bột môi trường trên bề mặt, chống ăn mòn và oxy hóa, quạt làm mát tích hợp,Nhiệt độ bề mặt Rt+45°C
• Sự xuất hiện tinh tế, tuân thủ ISO, CE

Profile phòng cho 1700 °C CVD 3 vùng lò ống chân không cao

• Độ cách nhiệt gốm nhôm cao, khắc CNC, tường buồng kết nối chặt chẽ, máy sưởi MoSi2 loại U, chống nhiệt độ lên đến 1800C
• Chiều dài sưởi ấm 600mm, phù hợp với đường kính ống aluminua 60mm.Các phần quan trọng của vùng sưởi ấm bên trong ống lò được trang bị với ống ceramic nút, có thể ngăn chặn hiệu quả nhiệt thoát ra và giảm mất nhiệt
• Bộ nhiệt loại B

Nước làm mát flange, 1/4 "pagoda vòi khí, đơn vị bơm chân không phân tử

• Được trang bị bộ vòm làm mát bằng nước SS304, được niêm phong bằng vòng niêm phong cao su fluorine chống nhiệt độ cao
• Các lối vào không khí và lối ra thông qua G1 / 4 inch chùm khí vòi, có thể được kết nối với một ống PTFE với đường kính bên ngoài của 8mm
• Kết nối đơn vị bơm phân tử với KF25, đảm bảo mức chân không đạt đến 10 *-5mbar

Chương trình sưởi ấm cho 1700 ° C CVD cao thời gian 3 vùng ống lò

• 30 phân đoạn có thể lập trình, tốc độ sưởi ấm 1-10C/min được điều chỉnh tự do
• Bảo hiểm nhiệt tốt, làm mát tự nhiên, làm mát nhẹ nhàng
• 7 "bảng màn hình cảm ứng là tùy chọn, chương trình sưởi ấm có thể được hiển thị kịp thời, và tải xuống

TThông số kỹ thuật

Ghi chú về ứng dụng

• Áp lực ống xử lý nên thấp hơn 0,02MPa
• Nguồn khí nên trang bị van giảm áp
• Trước khi lấp đầy khí giảm như H2, nên bơm không khí ra khỏi ống
• Khi lấp đầy khí từ lối vào khí trong ống, nên đảm bảo van thoát khí mở

So sánh kích thước