PT D80/1500/17/3 là một lò ống chân không cao nhiệt độ cao, ba vùng CVD. ống nhôm OD80mm, chiều dài sưởi ấm 1500mm. Được trang bị máy bơm phân tử với mức chân không lên đến 10-5torr,3 kênh MFC pha trộn khí được điều khiển chính xác. 304SS nước làm mát vòm với van kim và thước đo, nhiều lối vào và lối ra không khí cho các loại khí khác nhau.Nó áp dụng một hệ thống kiểm soát nhiệt độ tự điều chỉnh dựa trên vi xử lý Yudian PID với độ chính xác kiểm soát nhiệt độ +/- °C, Các thanh MoSi2 được nung nóng, nhiệt độ tối đa có thể đạt đến 1700 ° C (1500 ° C dưới chân không cao).lớp phủ phim mỏng chân không, thí nghiệm CVD v.v.
1700 °C CVD 3 Khu vực lò ống chân không với máy trộn khí MFC và thiết bị làm mát bằng nước
Profile phòng cho 1700 °C CVD 3 vùng lò ống chân không cao
Nước làm mát flange, 1/4 "pagoda vòi khí, đơn vị bơm chân không phân tử
Chương trình sưởi ấm cho 1700 ° C CVD cao thời gian 3 vùng ống lò
Mô hình số. | PTC D80/1500/17/3 |
Chiều dài sưởi ấm |
800mm |
Nguồn cung cấp điện |
25KW AC380V 50Hz 3 giai đoạn |
Nhiệt độ hoạt động |
Tmax 1700°C (3092°F) |
Máy điều khiển nhiệt độ |
Bộ điều khiển PID Yudian |
Tốc độ sưởi ấm | ≤10°C / phút |
Bộ nhiệt | B loại |
ống lò | Vật liệu:Bụi chế biến có hàm lượng nhôm cao 99,6% Kích thước:OD80mm, ID70mm, chiều dài 2300mm |
Vòng niêm phong |
SS304 Vòng niêm phong mở nhanh với van kim và máy đo áp suất |
Mức chân không |
10-3 torr được cung cấp với đơn vị bơm phân tử |
Lớp lót của buồng | 1800# Bảo hiểm alumina gốm |
Các thành phần điện tử | Máy sản xuất Schneidercông tắc không khí, contactor AC, SSR Relay vv |
Các yếu tố sưởi ấm | Các yếu tố sưởi ấm MoSi2 |
Thông tin vận chuyển | Trọng lượng: 600kg W800xL2650xH1560mm |
Tuân thủ | CE, ISO |
Bảo hành | 18 tháng bảo hành chất lượng với hỗ trợ kỹ thuật suốt đời (không bao gồm các bộ phận tiêu thụ như ống thạch anh, nhiệt cặp vv) |
Tên mặt hàng | PT D40/300/17 | PT D60/300/17 | PT D80/300/17 |
Chiều dài sưởi ấm | 300mm | 300mm | 300mm |
Kích thước ống | OD40xL900mm | OD60xL900mm | OD80xL900mm |
Sức mạnh | 3 kW | 4 kW | 5 kW |
Trọng lượng ròng | 185 KGS | 238 KGS | 276 KGS |