1100C Quartz Tube Furnace With Solid Precursor Sublimator For CVD 2D Lớp TMDs

Thông tin tổng quan về sản phẩm cho lò ống xả nhiệt oxy hóa

PTC D110/440/12NG là một lò ống CVD cỡ nhỏ 1100 °C với một phụ kiện sublimating tiền thân.Hoàn toàn bốn kênh đường vào khí được xây dựng trên sublimation cho phép các nguồn cung cấp khí khác nhau để mang hơi nước nguồn vào máy sưởi chính để phân hủy và lắng đọng hơn nữa. Các thiết bị cố định người giữ mẫu được gắn trên cánh bên phải là trượt cho dễ dàng tải mẫu / thả.

Các đặc điểm chính

• Hệ thống lò CVD nhỏ gọn với:
• 4.33" O.D x 4.05" I.D x 29.13" Độ dài ống thạch anh (OD 110 x ID 103 x L 740, mm)
• Nhiệt độ hoạt động tối đa 1100oC với độ chính xác +/- 1oC
• Các nước làm mát vòm bên phải là trượt để dễ dàng tải mẫu
• Các nước làm mát vòm bên trái giữa máy sưởi và lò được sử dụng cho đầu vào khí nóng trước và niêm phong
• Bốn kênh đường vào khí (1/8 "Dia ống và ống gắn) được xây dựng trên bên trái bên cạnh
• Một máy sưởi nhỏ được gắn vào vòm bên trái của lò để làm nóng trước khí nhập, chất lỏng hoặc hóa chất rắn bay hơi, sau đó sẽ được cung cấp cho lò CVD:
• Vui lòng nhấp vào hình bên trái để biết thêm chi tiết:
• 1.2'O.D x 6'L ống SS như phòng sưởi ấm
• Vacuum kín 1" ID ống thạch anh nhỏ bên trong máy sưởi (Hình 2)
• Nhiệt độ hoạt động tối đa 400oC (nhiệm sưởi 1000oC có sẵn theo yêu cầu)
• Các vòm bên trái là cho phong tỏa khí và đầu vào

Ramp, nhà ở, đường cong làm mát cho lò thí nghiệm dòng 1200

Các biện pháp an toàn

• Dựa trên một chiếc đồng hồ điện áp tích hợp và hai đồng hồ điện áp để dễ dàng giám sát và khắc phục sự cố.
• Bảo vệ quá nóng tắt lò ống nếu nhiệt độ nằm ngoài phạm vi chấp nhận được (xem hướng dẫn của bộ điều khiển) hoặc khi nhiệt cặp bị hỏng hoặc trục trặc
• Bảo vệ mất điện tiếp tục hoạt động lò ngay sau khi điểm thất bại khi điện được thiết lập lại
• Kiểm soát PID tự điều chỉnh dựa trên vi xử lý cung cấp quy trình nhiệt tối ưu với quá mức tối thiểu

Thư viện sản phẩm

Thiết bị sublimator tiền thân cho lò ống CVD

Thông số kỹ thuật

Ghi chú về ứng dụng

• Không đổ bất kỳ khí nổ nào như Hydrogen hoặc Methane vào ống lò mà không có kiểm soát và giám sát an toàn cần thiết
• lò ống thí nghiệm với ống thạch anh được thiết kế để sử dụng dưới chân không và áp suất thấp < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
• Các vết nứt nhỏ có thể xuất hiện trên bề mặt của gốm lửa trong thời gian sử dụng kéo dài.

So sánh kích thước