1700C nhiệt độ cao 3 vùng phòng thí nghiệm CVD ống chân không lò với ống OD60mm nhôm

Tổng quan sản phẩm

PTC D60/600/17/3 là một lò ống 60mm OD 3 vùng được chứng nhận CE với sườn niêm phong chân không hoàn chỉnh.Mỗi vùng sưởi ấm là 12 "trải dài và được điều khiển bởi ba chính xác 30 phân đoạn của bộ điều khiển nhiệt độ kỹ thuật số độc lậpMột vùng (vùng trung tâm) được làm nóng bởi các yếu tố Super-1800 MoSi2 lên đến 1700 °C, và hai vùng khác được làm nóng bởi các yếu tố SiC lên đến 1400 °C.Các lò ống có thể tạo ra các gradient nhiệt khác nhau bằng cách điều chỉnh ba vùng nhiệt độNó là một lò nướng tuyệt vời để chuẩn bị vật liệu chức năng dưới gradient nhiệt, và cũng có thể được sử dụng cho sự phát triển phim epitaxial bởi CVD.

Các đặc điểm chính

• Phạm vi nhiệt độ hoạt động 1200°C-1700°C
• Cấu trúc thép kép, mất nhiệt tối thiểu; Ba vùng sưởi ấm, điều khiển độc lập
• 99.6% ống nhôm với SS304 mở nhanh nước làm mát niêm phong
• Các yếu tố sưởi ấm MoSi2 mạnh mẽ đảm bảo nhiệt độ đồng đều
• Phòng cách nhiệt bằng sợi để ổn định nhiệt độ tối đa và đồng nhất
• Bộ điều khiển PID kỹ thuật số với 30 phân đoạn có thể lập trình
• Bộ thiết bị cung cấp khí riêng biệt, có thể trộn khí với Ar, N2 CO, H2 vv
• Bộ nhiệt dài tuổi thọ loại B
• Chứng nhận CE

Các biện pháp an toàn

• Dựa trên một chiếc đồng hồ điện áp tích hợp và hai đồng hồ điện áp để dễ dàng giám sát và khắc phục sự cố.
• Bảo vệ quá nóng tắt lò nếu nhiệt độ nằm ngoài phạm vi chấp nhận được (xem hướng dẫn của bộ điều khiển) hoặc khi nhiệt cặp bị hỏng hoặc bị hỏng.
• Bảo vệ mất điện tiếp tục hoạt động lò ngay sau khi điểm thất bại khi điện được khôi phục.
• Kiểm soát PID tự điều chỉnh dựa trên vi xử lý cung cấp quy trình nhiệt tối ưu với quá mức tối thiểu

Chi tiết sản phẩm

1700°C lò ống chân không nhiệt độ cao CVD ba vùng

• 1700C nhiệt độ cao lò ống CVD chủ yếu bao gồm năm bộ phận: thân lò, ống lò, phụ kiện niêm phong flange, hệ thống cung cấp khí,hệ thống chân không và hệ thống điều khiển nhiệt độ
• Vỏ thép bên ngoài lò được xử lý bằng cách dẻo dai và phosphating, lớp phủ bột môi trường trên bề mặt, chống ăn mòn và oxy hóa, quạt làm mát tích hợp,Nhiệt độ bề mặt Rt+45°C
• Phù hợp ISO, CE

Hình dạng buồng cho lò ống nhiệt độ cao 1700 °C CVD 3 vùng

• Độ cách nhiệt gốm nhôm cao, khắc CNC, tường buồng kết nối chặt chẽ, máy sưởi MoSi2 loại U, chống nhiệt độ lên đến 1800C
• Chiều dài sưởi ấm 600mm, phù hợp với đường kính ống aluminua 60mm.Các phần quan trọng của vùng sưởi ấm bên trong ống lò được trang bị với ống ceramic nút, có thể ngăn chặn hiệu quả nhiệt thoát ra và giảm mất nhiệt.
• Bộ nhiệt loại B

Vòng mở nhanh, hỗ trợ ống lò, 1/4 "đống khí chùm, máy bơm chân không

• Được trang bị phụ kiện vòm làm mát bằng nước mở nhanh SS304 cho vật liệu tải và thả nhanh, được niêm phong bằng vòng niêm phong cao su fluorine chịu nhiệt độ cao
• Các lối vào và lối ra không khí thông qua G1 / 4 inch chùm khí vòi, có thể được kết nối với một ống PTFE với đường kính bên ngoài 8mm.
• Kết nối đơn vị bơm phân tử với KF25, đảm bảo mức chân không đạt đến 10 *-5mbar

Chương trình sưởi ấm cho 1700 ° C CVD cao thời gian 3 vùng ống lò

• 30 phân đoạn có thể lập trình, tốc độ sưởi ấm 1-10C/min được điều chỉnh tự do
• Bảo hiểm nhiệt tốt, làm mát tự nhiên, làm mát nhẹ nhàng
• 7 "bảng màn hình cảm ứng là tùy chọn, chương trình sưởi ấm có thể được hiển thị kịp thời, và tải xuống

TThông số kỹ thuật

Ghi chú về ứng dụng

• Áp lực ống xử lý nên thấp hơn 0,02MPa
• Nguồn khí nên trang bị van giảm áp
• Trước khi lấp đầy khí giảm như H2, nên bơm không khí ra khỏi ống
• Khi lấp đầy khí từ lối vào khí trong ống, nên đảm bảo van thoát khí mở

So sánh kích thước