Sân công việc ống CVD đa vùng bao gồm lò ống nhiều vùng sưởi ấm, trạm điều khiển dòng chảy khí khối lượng chính xác,một đơn vị bơm chân không cao và các bộ phận lắp ráp khác như ống lòTmax 1200 ° C, tốc độ chân không cuối cùng lên đến 10-7 torr với các đơn vị bơm chân không phân tử.Trạm kiểm soát lưu lượng khí khối lượng trộn ba hoặc nhiều loại khí với nhau và đầu vào khí hỗn hợp vào một ống thạch anh hoặc ống kim loại bên trong lò. Multi-Zone Tube Furnace có thẩm quyền cho các thí nghiệm như CVD, Diffusion, và các điều trị nhiệt khác dưới trạng thái chân không và bảo vệ khí quyển.
Phía trước cho lò ống quay 1200C
Mô hình số. | PTC D120/1000/12/3 |
Khu vực sưởi ấm |
Bốn vùng sưởi ấm |
Nguồn cung cấp điện | 15KW AC380-415V, 50/60Hz, 3 pha |
Nhiệt độ hoạt động |
Tmax 1200°C (2192°F) |
Máy điều khiển nhiệt độ |
ShimadenBộ điều khiển PID |
Tốc độ sưởi ấm | ≤ 25°C /min |
Bộ nhiệt | Loại N |
Lớp lót của buồng | Nguồn gốc Mitsubishitấm sợi cao 1500# |
ống lò |
Vật liệu: Thạch anh hoặc kim loại |
Vòng trượt chân không |
SS304 niêm phong |
Mức chân không |
Max 10E-7 torr với máy bơm phân tử |
Các yếu tố sưởi ấm |
Sợi cuộn dây kháng HRE |
Thông tin vận chuyển | Trọng lượng: 660 kg W2150xL1200xH1360mm |
Tuân thủ | CE, ISO |
Bảo hành | 18 tháng bảo hành giới hạn với hỗ trợ kỹ thuật suốt đời |
Tên mặt hàng | PTC D40/440/12 | PTC D80/440/12 | PTC D100/440/12 |
Chiều dài sưởi ấm | 440mm | 440mm | 440mm |
Kích thước ống | OD40xL800mm | OD80xL1000mm | OD100xL1000mm |
Sức mạnh | 4 kW | 7 KW | 8 kW |
Trọng lượng ròng | 108 KGS | 275 KGS | 360 KGS |