1200C Multi-Zone CVD Tube Furnace OD120mm 3 vùng với nhiệt độ đồng nhất +/- 5C

1200C Multi-Zone CVD Tube Furnace (OD120mm, 3 Zone) với nhiệt độ đồng nhất +/- 5

Tổng quan sản phẩm cho 1700CCửa ống quay

Sân công việc ống CVD đa vùng bao gồm lò ống nhiều vùng sưởi ấm, trạm điều khiển dòng chảy khí khối lượng chính xác,một đơn vị bơm chân không cao và các bộ phận lắp ráp khác như ống lòTmax 1200 ° C, tốc độ chân không cuối cùng lên đến 10-7 torr với các đơn vị bơm chân không phân tử.Trạm kiểm soát lưu lượng khí khối lượng trộn ba hoặc nhiều loại khí với nhau và đầu vào khí hỗn hợp vào một ống thạch anh hoặc ống kim loại bên trong lò. Multi-Zone Tube Furnace có thẩm quyền cho các thí nghiệm như CVD, Diffusion, và các điều trị nhiệt khác dưới trạng thái chân không và bảo vệ khí quyển.

Các đặc điểm chính

• Tmax 1200°C
• Cửa ống CVD ngang, chia, đa vùng
• Inconel 600 làm ống chế biến
• Mức chân không tối đa 10E-7 torr
• Điều khiển dòng chảy khí khối lượng chính xác 3 kênh
• Các khu vực sưởi ấm nhiều được điều khiển riêng biệt đảm bảo độ dốc nhiệt độ được cải thiện
• Hỗ trợ sườn kép cung cấp niêm phong tốt hơn và tuổi thọ ống dài hơn
• Các nhiệt cặp loại N
• Chứng nhận CE, tiêu chuẩn

Các biện pháp an toàn

• Dựa trên một chiếc đồng hồ điện áp tích hợp và hai đồng hồ điện áp để dễ dàng giám sát và khắc phục sự cố.
• Bảo vệ quá nóng tắt lò ống CVD nếu nhiệt độ nằm ngoài phạm vi chấp nhận được (xem hướng dẫn của bộ điều khiển) hoặc khi nhiệt cặp bị hỏng hoặc bị trục trặc.
• Bảo vệ mất điện tiếp tục hoạt động lò ngay sau khi điểm thất bại khi điện được khôi phục.
• Kiểm soát PID tự điều chỉnh dựa trên vi xử lý cung cấp quy trình nhiệt tối ưu với quá mức tối thiểu

Thư viện sản phẩm

Phía trước cho lò ống quay 1200C

Thông số kỹ thuật

Ghi chú về ứng dụng

• Đừng đổ bất kỳ khí nổ nào như Hydrogen hoặc Methane vào ống lò CVD mà không có kiểm soát và giám sát an toàn cần thiết.
• Các lò ống với ống kim loại được thiết kế để sử dụng dưới chân không và áp suất thấp < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa.
• Các vết nứt nhỏ có thể xuất hiện trên bề mặt của gốm lửa trong quá trình sử dụng kéo dài.

So sánh kích thước