lò ống với thiết bị cung cấp khí cho xử lý nhiệt phim mỏng

Thông tin tổng quan về sản phẩm cho lò ống 1700C

Mô hình này bao gồm một lò sưởi ấm ống ngang và một hệ thống cung cấp khí, chủ yếu làm thí nghiệm xử lý nhiệt cho các tấm mỏng (nitride kim loại chuyển tiếp và phim nitride HEA,các lớp phủ cứng PVD khác nhau).

Các đặc điểm chính

• Tmax 1700 °C
• Điện sưởi ấm, khu vực duy nhất, nhiệt độ cao, lò ống chân không
• Cấu trúc thép kép, phòng lò không chia để bảo vệ mất nhiệt tối thiểu
• Nhiều quá trình khí quyển trong một chu kỳ duy nhất có sẵn
• Max Vacuum level đạt được 10E-3 torr làm việc với máy bơm phân tử
• Phòng cách nhiệt bằng sợi với các yếu tố sưởi ấm MoSi2 mạnh đảm bảo nhiệt độ đồng đều đảm bảo nhiệt độ đồng đều
• Shimaden PID điều khiển nhiệt độ với 30 phân đoạn lập trình
• SS304 ống nước làm mát bằng chân không niêm phong với van và máy đo áp suất bao gồm
• Hỗ trợ hai vòm với đầu bảo hiểm nhiệt cung cấp kín tốt hơn và hoạt động an toàn
• Bộ nhiệt dài tuổi thọ loại B
• Chứng nhận CE, tiêu chuẩn

Ramping, nhà ở, đường cong làm mát cho 1700 Series ống lò

Các biện pháp an toàn

• Dựa trên một chiếc đồng hồ điện áp tích hợp và hai đồng hồ điện áp để dễ dàng giám sát và khắc phục sự cố.
• Bảo vệ quá nóng tắt lò ống nếu nhiệt độ nằm ngoài phạm vi chấp nhận được (xem hướng dẫn của bộ điều khiển) hoặc khi nhiệt cặp bị hỏng hoặc trục trặc
• Bảo vệ mất điện tiếp tục hoạt động lò ngay sau khi điểm thất bại khi điện được thiết lập lại
• Kiểm soát PID tự điều chỉnh dựa trên vi xử lý cung cấp quy trình nhiệt tối ưu với quá mức tối thiểu

Thư viện sản phẩm

Mặt trước cho lò ống nhiệt độ cao 1700 độ C

Nhìn phía trước cho1700 độ Clò ống nhiệt độ cao

Thông số kỹ thuật

Ghi chú về ứng dụng

• Không đổ bất kỳ khí nổ nào như Hydrogen hoặc Methane vào ống lò mà không có kiểm soát và giám sát an toàn cần thiết
• 1700C lò ống với ống nhôm được thiết kế để sử dụng dưới chân không và áp suất thấp; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
• Để giảm thiểu tốc độ nứt của các ống gốm, xin vui lòng thay đổi vị trí (đánh dấu bốn điểm trên ống) mỗi lô
• Các vết nứt nhỏ có thể xuất hiện trên bề mặt của gốm lửa trong quá trình sử dụng kéo dài.

So sánh kích thước